用于光气动探测的微流量传感器

作者：赵永翠; 何秀丽; 赵玲; 李建平; 高晓光; 贾建

来源：仪表技术与传感器, 2013, (03): 1-3+6.

• 非分光红外
• 光气动探测
• 微流量传感器 NDIR
• opto-pneumatic detection
• micro-flow sensor

针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻,其电阻-温度系数(TCR)约2.2×10-3/℃.Pt薄膜采用4μm厚氮化硅悬梁作支撑,在125℃工作温度下功耗约44 mW.研究了Pt薄膜电阻对的间距以及工作温度对微流量传感器性能的影响,并将其用于CO2气体检测。在0～1 mL/min的测试范围内,该微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系,理论检测下限约8.5μL/min,可用于气体红外吸收的气动探测。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所