超锐截止生物医学滤光片的研制（特邀）

作者：阴晓俊; 王瑞生^*; 赵帅锋; 任少鹏; 高鹏; 费书国

来源：光子学报, 2022, 51(09): 28-39.

• 生物医学
• 滤光片
• 超多层薄膜
• 荧光
• 拉曼
• 等离子反应磁控溅射

高端荧光、拉曼等生物医学检测需要超高透射、超锐截止滤光片，包括带通、单侧截止、多通带、陷波及分色等多种典型光谱类型。本文简要介绍了五种典型光谱滤光片的膜系设计方法，并以230层双侧锐截止带通典型膜系为代表，详细介绍了超多层薄膜的等离子反应溅射镀制工艺，多监控片膜厚控制及膜厚误差模拟仿真技术，超锐截止光谱表征技术及检测方法。最后给出研制的五种典型锐截止生物医学滤光片镀制结果（部分结果含增透）：单面镀膜双侧锐截止带通滤光片的透射率大于95%，截止陡度优于1%；单面镀膜单侧锐截止滤光片峰值透射率大于95%，截止陡度优于0.7%；双面镀膜三通带锐截止滤光片平均透射率大于95%，截止陡度优于1%；陷波滤光片截止深度优于OD6，通带透射率大于90%；分色镜（45°入射）陡度优于1%，平均透射率大于95%。

• 单位
  沈阳仪表科学研究院有限公司