高斯分布激光前向转印Cu薄膜形貌及机理

作者：刘威; 窦广彬; 王春青; 田艳红; 叶交托

来源：中国激光, 2013, (03): 162-167.

• 薄膜
• 形貌及界面
• 激光诱发前向转印
• 微结构制造 thin films
• morphology and interface
• laser induced forward transfer
• micro structure fabrication

激光诱发前向转印技术,作为一种微加工手段,具有制备微小结构的能力,目前已经成为微细加工领域的研究热点。通过改变高斯分布激光脉冲功率密度,进行了Cu薄膜在石英玻璃表面的转印实验,并对转印沉积薄膜进行了光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)表面氧化状态分析,探讨了激光脉冲功率密度与沉积薄膜的尺寸、特殊形貌以及薄膜厚度均匀性的关系,并在此基础上研究了激光转印Cu薄膜的机理。结果表明,当激光平均脉冲功率密度达到1×105 W/cm2时,Cu薄膜的转印才可以发生。随着激光脉冲功率密度的增加,转印Cu薄膜尺寸增加,并由薄膜转变为圆环形,最终尺寸达到一定值。激光转印薄膜表层10nm...

• 单位
  哈尔滨工业大学; 先进焊接与连接国家重点实验室; 英国帝国理工大学