金属氧化物半导体基三乙胺传感器的研究进展

作者：张静宜; 孟哈日巴拉; 张战营

来源：无机盐工业, 2021, 1-12.

• 金属氧化物半导体（MOS）
• 三乙胺（TEA）
• 纳米材料
• 气体传感器

三乙胺是一种应用广泛但对人体有毒副作用的挥发性有机物，需要长期有效的监测，金属氧化物半导体基气敏传感器在三乙胺气体的检测中具有不可替代的作用。重点介绍了基于金属氧化物半导体的三乙胺传感器的最新研究进展。综述了近年来包括掺杂、异质结、有机金属骨架和氧化还原石墨烯在内的关于金属氧化物半导体基三乙胺气敏材料的制备和性能原理等方面的研究成果，并展望了金属氧化物基三乙胺气敏材料的未来研究方向。

• 单位
  河南理工大学; 材料科学与工程学院