摘要

激光加工中反射光损伤会对加工激光器造成损伤,为了解决大功率激光器工业应用中遇到的问题,降低反射光对激光器的损伤,对反射光偏振特性的研究意义就显得十分重大。设计了激光加工中反射光的检测方案,并对大功率半导体激光加工的反射光进行实验研究,得出半导体激光加工的反射光中S分量和P分量的光强比值与加工方式相关,还与加工材料相关,且该比值随着加工材料反射率的降低而降低。