摘要

介绍了准分子激光微加工的机理、特点和应用。激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点。既可以通过材料去除方式,也可以通过材料加成方式进行微加工成形。探讨了准分子激光的熔覆特性,实验表明:准分子激光瞬时产生很高的功率密度,具有很高的温度梯度。在基体表面发生剧烈的光热交互作用;同时产生巨大的光压和等离子体,形成大量等离子体小颗粒,沉积在熔池周围。另外,由于准分子激光的脉冲作用,熔池中有明显的液相冲击波纹会影响激光熔覆层的表面质量,可以通过优化激光工艺参数改善熔覆层的表面质量。

  • 单位
    西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室