针对光纤成像的特殊性,提出了一种利用边缘检测算法来提取ROI区域作为对焦窗口的方法,该方法成功地消除了光纤图像中心亮带对清晰度评价值的影响,可准确判断光纤目标清晰的位置,结合显微视觉测量技术,将其应用于光纤侧面抛磨和拉锥系统中,经过亚像素边缘检测及尺寸计算后,对光纤参数的测量精度高于0.5μm,可提高光纤微加工系统的性能。