自然掺杂及N-Al共掺杂ZnO薄膜的发光特性

作者：傅广生; 孙伟; 吕雪芹; 王春生; 尹志会; 于威

来源：中国激光, 2006, (04): 549-551.

• 薄膜
• p型ZnO发光特征
• 光致发光
• 掺杂技术

采用螺旋波等离子体辅助溅射技术制备了自然掺杂及N-Al共掺杂ZnO薄膜,对两种不同类型掺杂薄膜的低温光致发光(PL)特性进行了研究。实验结果表明,二者均呈现出了较强的与受主能级相关的发光特征,自然掺杂薄膜的光致发光谱在404.0 nm处出现了由于锌空位产生的近带边发光,N-Al共掺杂薄膜的光致发光谱在383.0 nm处出现了N作为受主的施主-受主对(DAP)跃迁发光。两种薄膜的发光特性比较分析表明,N-Al共掺杂技术能够有效提高N的固溶度,N受主能级密度增加使薄膜表现出较强的施主-受主对跃迁发光,表明该技术为实现p型ZnO薄膜制备的有效方法。

• 单位
  衡水学院; 河北大学