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摘要
采用溶胶凝胶法和旋涂工艺在FTO导电玻璃表面制备了Ti O2薄膜,通过在Ti O2薄膜表面蒸镀Al电极构建了Al/Ti O2/FTO结构的阻变器件。通过AFM、XRD和拉曼光谱分别研究了Ti O2薄膜的表面形貌、晶相组成和晶体结构。结果表明,Ti O2薄膜表面平整,晶相结构为锐钛矿结构,I-V测试表明Al/Ti O2/FTO阻变器件表现出无初始化过程的双极性阻变特性。通过与无Al电极的W(探针)/Ti O2/FTO阻变器件进行对比,得到了基于Al/Ti O2界面效应控制的阻变过程和电流传输机制。研究结果表明Al/Ti O2/FTO器件在低阻态下正偏压区间为Pool-Frenkel传导机制,负偏压区间为欧姆导电机制和肖特基发射;在高阻态下则满足陷阱控制的空间电荷限制电流传导机制。W/Ti O2/FTO阻变器件分别是高阻态为缺陷控制的空间电荷限制电流导电机制,低阻态为欧姆导电机制。
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