高次离轴凸非球面反射镜组合加工(特邀)

作者：彭利荣; 程强^*; 曾雪锋; 周晓勤

来源：红外与激光工程, 2022, 51(09): 43-49.

• 离轴凸非球面
• 气囊抛光
• 沥青平滑
• 零位补偿
• 畸变矫正

为提高离轴三反消像散(TMA)光学系统中次镜的制造效率和精度，开展了离轴凸非球面反射镜组合加工和零位检测的研究工作。首先，介绍了方形(298 mm×264 mm)高次离轴凸非球面反射镜的光学参数、技术指标和总体加工路线；其次，提出了铣磨加工工艺策略以及基于气囊和沥青的小磨头组合加工工艺；最后，阐述了光学零件抛光阶段采用的背部透射零位补偿检测法和Offner型零位补偿器，并采用光线追迹法对镜片的零位补偿检验面形畸变进行了矫正，最终面形RMS值为0.025λ(λ=632.8 nm)，满足技术指标要求。上述组合加工工艺和背部透射零位补偿检测方案可以显著提升高次离轴凸非球面反射镜的加工精度和效率。

• 单位
  中国科学院; 吉林大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所