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摘要
光通信系统不断提升的传输速率对光电探测器的带宽提出了更高的要求。利用有限元分析软件APSYS对p区倒置型雪崩光电探测器(APD)进行设计与优化。结果表明，双台面p区倒置型APD可将电场限制在中心区域，避免器件发生边缘击穿，器件的暗电流约为0.1 nA,最大带宽为23 GHz,增益带宽积为276 GHz。在此结构上，对双台面p区倒置型APD的台面及层结构参数进行优化，得到最大带宽为31.7 GHz,增益带宽积为289.4 GHz的三台面p区倒置型APD。
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单位信息光子学与光通信国家重点实验室; 北京邮电大学
