氧化铝薄膜纳米孔的孔径对电解电压的依赖性

作者：王为; 巩运兰; 王惠; 郭鹤桐

来源：天津大学学报 (自然科学与工程技术版), 2005, 38(03): 229-232.

DOI：10.3969/j.issn.0493-2137.2005.03.009

• 氧化铝薄膜
• 电解电压
• 内应力
• 微裂纹
• 孔径

为了确定电解电压与氧化铝薄膜纳米孔孔径之间的内在关系,以200的磷酸为电解液,在40150V的电解电压范围内,对铝基材实施阳极氧化制备了具有纳米孔结构氧化铝薄膜.用环境扫描电镜(ESEM)观察结果表明,阻挡层中微裂纹的产生是形成纳米孔的先决条件,微裂纹的长度决定了孔径的大小.微裂纹的长度由阻挡层中的内应力决定,内应力由γAl2O3,与金属铝基体的匹配度决定,匹配度由γAl2O3 的晶粒尺寸决定.X射线衍射(XRD)的分析结果表明,电解电压决定了氧化铝薄膜中γAl2O3 晶粒尺寸的大小.因此,电解电压决定了氧化铝薄膜纳米孔的孔径.

• 单位
  天津商业大学; 天津大学