带载流导体微机电系统动态Pull-in阈值研究

作者：王重阳; 贺平安; 张建明^*; 张丽俊

来源：浙江理工大学学报, 2020, 43(03): 389-393.

• 微机电系统
• 动力系统
• 周期解
• 动态pull-in

利用动力系统和微分方程定性理论研究了带载流导体微机电系统动态pull-in阈值。通过对系统轨线的分析,得到该系统集总参数存在唯一的阈值;分析该阈值与系统周期解、pull-in解和趋于平衡态解之间的关系,进一步得到当集总参数超过该阈值时,系统发生动态pull-in。

• 单位
  山东科技大学; 浙江理工大学