硅酸镓镧高温色散COM参数数据库建立

作者：潘虹芝; 程一民; 齐梦珂; 赵彦军; 曹亮; 牟笑静^*

来源：压电与声光, 2021, 43(04): 470-478.

• 硅酸镓镧(LGS)
• 耦合模(COM)模型
• 高温
• 色散参数
• 数据库

为了声表面波(SAW)器件设计的便捷和准确,该文利用耦合模(COM)模型在FEMSDA软件基础上添加了Mo、Pt、Ir 3种金属电极的材料参数,同时将硅酸镓镧(LGS)的材料参数随温度变化的关系式一起加入软件,以(0°,138.6°,26.7°)LGS压电基片为目标,建立了在700 K下不同金属、相对膜厚及占空比条件下的COM色散参数数据库。

• 单位
  重庆大学