摘要

受栅氧界面态影响,SiC MOSFET阈值电压不稳定,这种性质干扰了阈值电压的测试结果。本文总结了4种阈值电压提取方法和3种不同的测试电路,比较了不同方法的异同点和逻辑联系,讨论了栅极电压预偏置技术的原理、实施方式。最后总结了现有技术,基于工程应用给出了关于阈值电压测试的建议。