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摘要
本发明公开了一种方框结构驱动的精密压电直线移动平台及工作模态,方框结构振子基体内侧中间位置设置有凸起的驱动足,在方框结构振子基体与驱动足相对的外侧均粘贴有面内弯振激励陶瓷,与面内弯振激励陶瓷和驱动足相应的方框结构振子基体两侧分别粘贴有面外弯振激励陶瓷,基座上面导轨与凹槽相互交叉垂直；方框结构振子基体内安装有移动台,移动台的框边与方框结构振子基体内侧的驱动足对应接触,移动台的下框边与导轨相对应。振子组件的面内弯振模态和面外弯振模态的共振效应驱使驱动足耦合形成椭圆运动轨迹,从而交替推动移动台移动。本发明的直线移动平台采用多个驱动足推动移动台,能成倍增大出力密度、速度并使其运行更稳定。
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