几种纳米加工技术的原理、特点及其应用

作者：赵保军; 王英; 张亚非

来源：纳米科技, 2007, (3): 44-48,59.

• 纳米加工
• 掩膜
• 浸笔纳米印刷
• 微接触印刷
• 纳米压印

从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术、探针直接书写式纳米加工技术、纳米复制加工技术,以及这几种纳米加工技术的原理、特点及其应用.

• 单位
  微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海交通大学