硅基图案化TiO_2表面微结构的制备和表征

作者：管飞; 陈淼; 张瑞; 梁山; 薛群基

来源：高等学校化学学报, 2005, (04): 599-602+586.

• 微图案
• 微接触印刷术
• TiO_2微结构 Micro-patterns
• Microcontact printing
• TiO_2 microstructures

结合微接触印刷术和TiO2沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜,并利用XPS,SEM和AFM对其表面性质和结构进行了表征.该硅基图案化TiO2微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义.

• 单位
  中国科学院兰州化学物理研究所; 固体润滑国家重点实验室; 中国科学院研究生院