螯合剂对钛酸锶钡薄膜结构与性能的影响

作者：付兴华; 傅正义; 丁碧妍; 单连伟; 韦其红; 侯文萍

来源：硅酸盐学报, 2005, (07): 882-886.

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.2005.07.017

• 螯合剂
• 钛酸锶钡薄膜
• 介电性能
• 结构特征
• 畴 chelating agent
• barium strontium titanate thin films
• dielectric properties
• characteristic microstructure
• domain

采用阻抗分析、差热分析、X射线衍射、透射电镜等方法研究了螯合剂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜结构与性能的影响。当乙酰丙酮作为螯合剂时,它与Ti(COC4H9)4螯合形成网络骨架结构,Ba2+,Sr2+均匀地分布在此网络中,热分解时金属离子能够均匀地分布,使钙钛矿的形成温度降低了约60℃。薄膜表面颗粒分布均匀,孔洞少,比较致密。晶粒的平均粒径均为80nm,晶格条纹间距约为0.296nm,晶界两侧的晶粒取向是随机的;畴的宽度约为1～2nm。薄膜具有较高的相对介电常数和较小的介质损耗。