ZnO薄膜p型转变的难点及解决新方法

作者：曾昱嘉; 叶志镇; 袁国栋; 黄靖云; 赵炳辉; 朱丽萍

来源：材料导报, 2004, (01): 69-71+79.

• p-ZnO
• H钝化
• 共掺
• 缓冲层 p-type ZnO
• hydrogen passivation
• codoping
• buffer layers

论述了ZnO薄膜p型转变的难点及其解决方法的最新研究进展,并讨论了Al+N+H共掺杂生长p-ZnO膜的掺杂机制,提出多层缓冲层生长工艺以实现p-ZnO薄膜的可控掺杂,进而优化薄膜性能。

• 单位
  硅材料国家重点实验室; 浙江大学