微互连焊点高温下的服役可靠性很大程度上决定了电子产品性能的优劣,本文通过微纳米压入法开展了典型无铅焊料合金Sn-3.0Ag-0.5Cu的高温蠕变性能研究,采用"快速加载–保载–快速卸载"的测试方式获取不同温度下完备的蠕变行为,分析发现温度升高焊料软化加剧、蠕变变形更为明显;得到了焊料合金不同温度下的稳态蠕变应力指数n与不同硬度下的蠕变激活能Q,分析了温度与硬度对二者的影响并给出激活能Q与ln H之间的关系.