光学元件双转子抛光技术中类高斯型去除函数建模与逼近

作者：陈华男; 王君林; 李显凌; 王绍治

来源：光子学报, 2013, (03): 282-287.

• 双转子
• 离散点弧长
• “花瓣”型截面磨头
• 曲线逼近
• 类高斯去除函数 Dual-rotor
• Discrete points and its arc length
• Grinding head with petal-like section
• Curve approximation
• Gaussian-like removal function

在Preston假设基础上,研究并推导了光学元件抛光过程中"花瓣"型截面磨头在双转子运动形式下的去除函数.提出了"花瓣"型截面磨头的离散点弧长表达方法,并讨论了该方法的适用范围;基于离散点弧长法,推导了"花瓣"型截面磨头在双转子运动形式下的去除函数表达式;根据可调步长式曲线逼近原理研究了类高斯型目标去除函数的逼近算法;并得到了类余弦型去除函数的双转子抛光模参量.从而证明了双转子抛光技术可以得到类高斯型去除函数.

• 单位
  应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所