科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明公开了一种微流体自律运动的微流控芯片,包括芯片基板、盖板,所述芯片基板上设置有横截面呈V槽形的微流道,所述微流道的入口深度10～800微米,流道出口深度20～800微米,同时,所述微流道从入口到出口深度逐渐变深,且变化规律为ΔH＝ΔLtanβ,ΔH为流道深度增量,ΔL为流道长度增量,0＜β＜10度。本发明提供的微流控芯片流道成型精度更高更高、流道内壁面表面质量更高,更易于流体流动,工艺更简单、生产效率更高且成本更低。本发明还提供了一种微流控芯片的制造方法和用于所述的微流控芯片的注液装置,封装紧密,工艺简单,封装效率高。
- 单位
