高纯氨生产工艺技术探讨

作者：梁雄; 尹爱华; 王小波; 谢小明

来源：新型工业化, 2022, 12(10): 236-239.

DOI：10.19335/j.cnki.2095-6649.2022.10.059

• 半导体
• 高纯氨
• 生产工艺

以工业氨为原料，采用多级吸附、低温精馏以及超滤相结合的纯化方法精制高纯超净氨，产品纯度达到99.9999%以上，同时建立与美国蓝氨技术指标相当的企业标准，建立气体杂质、金属杂质的分析方法，形成规模化生产能力，生产的高纯氨满足氮化镓制造工艺的使用要求。

• 单位
  兰州裕隆气体股份有限公司