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摘要
电镀是一种良好的实现金属沉积的电化学工艺方法。为探索电镀技术在大马士革工艺中的应用，先介绍了电镀的基本理论，然后阐述了双大马士革的工艺流程，继而从电镀液和脉冲电镀方面分析了电镀对大马士革工艺的影响。结果表明镀液中的Cl-对电镀有催化作用，脉冲电镀比直流电镀所需的时间短，电流密度对镀层的生长方式影响不大，脉冲时间对填充速率有重要影响。最后提出，应该从电镀设备、电镀液、工艺参数各方面进行研发，从而改善电镀效果，促进集成电路产业的快速发展。
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单位中国电子科技集团公司第四十五研究所
