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摘要
该文揭示了一种动热源摆式单轴微机电系统(MEMS)热加速度计的敏感机理。在给出敏感结构原理的基础上，通过建立二维物理研究模型、划分网格、加载加速度等方法对敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明，开机1.8 s后在敏感结构内形成了一个稳定的以动热源为中心的温度场；输入加速度a时，动热源沿着加速度方向偏移，温度场随之偏移，敏感轴方向上对称设置的两个热线温差ΔTX随着输入加速度a的加大而呈线性增长，温度灵敏度为7.1×10-2 mK/g。根据输入-输出(a-VXOUT)特性曲线给出数学模型，得到该加速度计灵敏度为0.5 V/g,非线性度为2.8%,从而揭示了敏感机理。
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