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摘要
本发明公开一种基于主次参考镜的光谱分辨干涉测距装置,包括测量部分、倾斜探测部分、光环行器以及光谱仪,所述光环行器将宽带光源、测量部分、光谱仪连接起来,宽带光源发出的光通过光环行器先到达测量部分,测量部分得到待测样品的相关待测信息通过光环行器到达光谱仪,光谱仪得到相关光谱信息传入后得出测量结果。当被测物体法线与光轴不重合时,可以通过倾斜探测模块信号对其被测物体进行调整,以提高测量精度。本发明无需扫描,即可直接获取一定深度内每一点处的被测距离值。在整个测量过程不会引入机械或光学扫描带来的误差,提高了测量精度。采用主次参考镜,解决了光谱分辨干涉法无法辨别出参考镜与被测物体的前后位置,使测量结果不受方向模糊的影响,扩大了一倍的测量范围。
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