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摘要
本发明公开了一种激光陀螺稳定充气和高精度检漏系统,其包括激光陀螺充气装置、氦质谱检漏装置以及真空排气机组,激光陀螺充气装置包括氦气瓶、氖气瓶、混气室、压力传感器、质量流量计以及与激光陀螺相连接的进气管；激光陀螺的氦质谱检漏装置包括氦质谱检漏仪、真空排气机组及喷枪；真空排气机组由机械泵、分子泵、真空计以及真空排气管道组成。本发明将激光陀螺检漏装置和激光陀螺充气封装装置系统地结合在一起,使得这一系列过程衔接得更为紧密,节约成本,提高了生产效率,采用喷吹法氦质谱检漏技术,极大地提高了激光陀螺的检漏精度,最小可检漏率可达10～(-12)pa*m～3/s的量级。
- 单位
