用于离子注入机剂量控制器的质心修正算法

作者：唐绍根; 李海燕; 邹昭伟; 刘登华

来源：微电子学, 2019, 49(03): 385-393.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.180528

• 离子注入机
• 质心修正算法
• 剂量控制器
• 束斑

针对圆盘式全机械扫描注入机,分析了传统束斑中心算法的缺陷和问题,提出质心的概念来表征束斑的分布,并提出了一种用于注入机剂量控制器的质心修正算法。对这两种算法进行分析、仿真和验证。结果表明,采用质心修正算法后,有效解决了束斑的不同分布对注入剂量精度、片间均匀性和批次间重复性的影响。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十四研究所