<正>从20世纪90年代起,我国开始进行ITO靶材的研发和探索,经过近30年的时间,国内ITO研究取得了长足的进展,整个ITO靶材行业也发生了巨大的变化。参与企业数量逐渐减少,开发主体也从国有企业逐渐演变成为民营企业。目前掌握较高端ITO靶材生产技术的企业只有五六家。国内ITO靶材企业经过30年的大浪淘沙,很多企业已退出市场,而这其中最主要的原因来自我国企
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