压电微动杆作为光学设备主动调焦系统的关键设备，会因压电迟滞非线性及复杂机电耦合效应严重影响其位移输出精度，进而影响光学设备的性能。为实现压电微动杆的高精度控制，建立了压电微动杆的多场耦合迟滞动力学模型。在此基础上，对压电微动杆设计鲁棒H∞反馈控制和逆Bouc-Wen前馈控制构成鲁棒复合控制器，在保证系统鲁棒性的同时补偿压电迟滞影响，提高控制精度。最后设计压电微动杆实验系统进行跟踪实验验证，结果表明所设计的鲁棒复合控制方法能够实现压电微动杆的高精度位移控制。
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