高陡度深型光学元件主动平滑技术研究

作者:张穗; 王佳; 王朝阳; 邓永红; 侯溪
来源:半导体光电, 2022, 43(02): 358-362.
DOI:10.16818/j.issn1001-5868.2021091704

摘要

提出一种针对高陡度非球面元件表面中频误差的主动平滑技术。通过构建离轴高陡度非球面平滑加工接触模型,获得加工过程中的不吻合度分布,设计主动平滑工具。采用有限元分析方法模拟主动平滑过程中磨盘材料、厚度及结构之间的关系,获得优选的主动平滑参数。实验结果验证了计算模型的准确性及主动平滑技术对于高陡度非球面元件的中频误差具有更好的平滑效果。

全文