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摘要
硬脆材料因其优异的物理与化学性质广泛应用于5G通讯、航空航天、电子电力等领域，高效率的超精密磨削技术是其加工流程中的重要一环。为了提高硬脆材料加工质量，需要对超精密磨削技术进行系统化的深入研究。本文从超精密磨削装备设计优化的角度出发，对自旋转磨削、双面磨削和磨抛一体化3种磨削方法的原理与机床设备进行了详细说明，介绍了超硬磨粒砂轮的制备、砂轮磨损检测与分析、砂轮修整技术的研究进展；从压痕/划痕实验、纳米磨削实验、模拟仿真分析3个角度对硬脆材料的磨削机理进行了深入探索；进一步总结了硬脆材料表面粗糙度及表面形貌、亚表面损伤、面形精度的控制方法。分析了硬脆材料超精密磨削的重点研究方向与发展趋势，为后续硬脆材料超精密磨削技术的研究提供了指导。
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