掺铝氧化锌(AZO)导电薄膜的研究进展

作者：张亚萍; 李启甲

来源：现代显示, 2006, (03): 51-54.

• 透明导电膜
• 掺铝氧化锌薄薄
• 多层膜设计 transparent and conducting film
• AZO films
• multilager design

综述透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况,重点讨论掺铝氧化锌(AZO)薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点。并指出,为了进一步提高透明导电薄膜的性能,应从以材料选择、制备工艺、多层膜光学设计等方面深入研发,以满足尖端技术的需要。

• 单位
  陕西科技大学; 材料科学与工程学院