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摘要
针对矢量网络分析仪(VNA)及其测试连接系统校准的宽频带、低功耗、易操作的需求，设计了一款适用于L～Ka波段的可调微机电系统(MEMS) SOLT校准件.该结构校准件以串联、并联式MEMS开关为基础，首先设计出一款串并联混合式MEMS开关，并将负载电阻与MEMS开关进行集成，结合校准件的SOLT原理，利用该开关对信号的选通功能实现短路、开路、负载和直通4种校准状态.该结构的校准件弥补了传统校准件操作复杂、人为误差较大的不足，具有体积小、精度高、易于操作的特点.利用HFSS仿真软件对器件性能进行优化仿真，在L～Ka波段范围内，器件在直通、开路及短路状态下的损耗分别优于1.89 dB, 1.8 dB及0.33 dB,阻抗稳定在50.5Ω.
- 单位
