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摘要
为分析对策基板玻璃制造后加工过程中的表面污染问题,提升产线良率,需要对表面污染物进行形貌、成分分析。对污染样品取样,用光学显微镜进行外观形貌观察,用拉曼光谱仪进行污染物成分分析,然后进一步分析其来源,采取针对性的对策。实践表明:使用拉曼光谱仪在对基板玻璃表面污染物成分分析方面效果显著,能满足产线对表面污染物的分析要求。
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为分析对策基板玻璃制造后加工过程中的表面污染问题,提升产线良率,需要对表面污染物进行形貌、成分分析。对污染样品取样,用光学显微镜进行外观形貌观察,用拉曼光谱仪进行污染物成分分析,然后进一步分析其来源,采取针对性的对策。实践表明:使用拉曼光谱仪在对基板玻璃表面污染物成分分析方面效果显著,能满足产线对表面污染物的分析要求。
