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摘要
准直器是氢原子钟必不可少的元件,针对目前单孔准直器尺寸大的问题,提出基于电子束曝光制备新型多孔准直器的思路。通过电子束曝光技术和玻璃棒管嵌套拉制法制备的13μm、20μm、10μm、12μm这4种多孔准直器的对比,探究了孔径形貌、光透过率、内壁粗糙度等基本性能。实验结果表明准直器光透过率按孔径由小到大分别是99.04%、98.06%、98.40%、96.18%,前3种准直器这一项性能指标都较为优越。内壁面粗糙度Sa按孔径由小到大分别是0.757 nm、1.210 nm、6.991 nm、7.350 nm,表明玻璃棒管嵌套拉制法制备的准直器在这一指标上性能较优越。
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单位南京航空航天大学; 中国科学院
