科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明公开了一种AFM低漂移大范围扫描测量的路径规划方法,其步骤包括：1扫描中心微块的图像,2微动平台移动到下一个微块区域并扫描,且与上一个微块有部分重叠,3对两个微块重叠部分进行相关计算得到漂移量,并对微块图像进行校正,4微动平台按照螺旋式扫描路线进行扫描,当扫描范围超过微动平台运动范围时,移动宏动平台与微动平台协同运动。5微动平台继续按照螺旋式扫描路线进行扫描,直到扫描完全部区域。本发明能实现漂移的实时计算和补偿校正,获取低漂移的大范围样品图像,从而提高原子力显微镜获取低漂移图像和测量的能力,对扫描探针显微镜的技术具有一定的理论意义和实用价值。
- 单位
