马来酰亚胺-丙烯酸酯共聚物的制备及在热纳米压印抗蚀剂的应用

作者：韦南君; 赵晶; 蔡雅娟; 杨旭; 刘洋; 孙义兴; 李一博; 杨子昊; 吴雅各; 岳婷; 盖景刚^*

来源：高分子材料科学与工程, 2023, 39(06): 125-130.

DOI：10.16865/j.cnki.1000-7555.2023.0119

• 丙烯酸酯
• 马来酰亚胺
• 纳米压印
• 抗蚀剂
• 分辨率

马来酰亚胺与丙烯酸酯通过自由基溶液聚合制备了马来酰亚胺-丙烯酸酯共聚物（P(AA-MI-AHA)）。根据凝胶渗透色谱，共聚物的多分散系数低于2，表现出窄的分子量分布特点；根据热失重分析和差示扫描量热分析，聚合物热分解温度高于140℃，玻璃化温度约为128℃，展现出较好的热稳定性。将共聚物用作热纳米压印抗蚀剂材料，研究了共聚物的微纳米图案复制能力。扫描电子显微镜观察到排列规整的条纹图案，分辨率约为100 nm。综上表明，所得马来酰亚胺-丙烯酸酯共聚物用作热纳米压印抗蚀剂材料展现出较好的图像复制能力。

• 单位
  高分子研究所; 四川大学; 高分子材料工程国家重点实验室