基于遗传算法的标记选择方法

作者：马琳琳

来源：电脑知识与技术, 2021, 17(21): 111-113.

DOI：10.14004/j.cnki.ckt.2021.2096

• 遗传算法
• 标记

该文提出一种基于遗传算法选标记的智能算法,该算法利用遗传算法解决了光刻过程中硅片对准选标记的问题,该算法的特点是可以不依赖对人的经验需求,快速选择标记,并且选择的对准标记可以满足套刻性能要求。