轴向磁场下多晶硅铸造过程的仿真模拟

作者：罗玉峰; 袁文佳; 张发云; 胡云; 彭华厦

来源：铸造技术, 2013, 34(01): 61-64.

• 轴向磁场
• 多晶硅
• 数值模拟
• 流场
• 温度场

利用多物理场耦合分析软件COMSOL Multiphysics4.2对多晶硅铸造过程进行模拟仿真,得到轴向磁场作用下多晶硅定向生长过程中的流场和温度场分布,以及磁场对坩埚内流场和温度场的影响,并分析了磁场作用机理,为磁场在多晶硅生产中的应用提供了参考依据。

• 单位
  南昌大学机电工程学院; 江西省高等学校硅材料重点实验室; 新余学院