典型ESD防护器件失效机理研究

作者：王振兴; 武占成; 张希军; 刘进

来源：半导体技术, 2011, (12): 962-967.

• 瞬态电压抑制管(TVS)
• 失效模式
• 漏电流
• 二次击穿 transient voltage suppression(TVS)
• failure model
• leakage current
• second breakdown

瞬态电压抑制管(TVS)是电子线路设计中常用的静电放电(ESD)防护器件,其可靠性将直接影响整个电路的安全。选取常见的TVS器件PESD5V0U1BA进行研究,通过实验和仿真分析了TVS器件的短路失效机理及其影响。研究表明,当TVS器件注入高压时,器件存在缺陷的SiO2层会发生自愈性击穿。当器件的pn结发生击穿时,器件将失效。如果两个pn结都被击穿,器件的I-V曲线表现为电阻特性。当TVS器件出现损伤后,器件仍具有箝位作用,且其表现的箝位电压更低,但由于器件的漏电流发生较大的增长,将影响被保护电路的正常工作。

• 单位
  中国人民解放军陆军工程大学