AgOx顶电极对WOx阻变性能的改善

作者：张建

来源：信息记录材料, 2020, 21(01): 105-106.

DOI：10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2020.01.065

• 阻变存储器
• 顶电极氧化
• Ⅰ-Ⅴ特性
• 脉冲激光沉积

采用脉冲激光沉积技术在不同的氧气氛围下制备了Ag/WOx/Pt、Ag/AgOx/Pt和Ag/AgOx/WOx/Pt异质结。分别对异质结进行了电流-电压特性曲线测试。通过对测试结果进行分析,系统研究Ag顶电极氧化后对器件阻变性能的影响。