钴离子取代对Ca5Mg4–xCox(VO4)6陶瓷微波介电性能的影响

作者：刘伟; 冷寒生; 李波^*

来源：硅酸盐学报, 2021, 49(03): 441-447.

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.20200430

• 微波介质陶瓷
• 钒酸镁钙
• 离子取代
• 介电性能

采用固相反应法制备低温烧结Ca5Mg4(VO4)6微波介质陶瓷,研究了Co掺杂取代Mg对微波介电性能的影响。结果表明:Co取代后样品形成了固溶体,导致烧结温度降低。当相对密度较低时,致密度主导着εr的变化;当相对密度较高时,εr主要受单位体积离子极化率的影响。此外,Co取代使得晶粒尺寸减小,进而促进了Q×f值的提升。由于τf与键能有着密切的联系,而V—O键的键能最大,τf随着V—O键键能的变化而改变。Ca5Mg4(VO4)6具有最佳的微波介电性能:εr=9.65,Q×f=54 685 GHz,τf=–55.3×10–6℃–1。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室