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摘要
本文通过在PET薄膜上的叉指电极间沉积Pd纳米团簇制备了柔性应变传感器件.传感器通过测量纳米团簇薄膜的电导随PET薄膜形变的变化而产生对应变的响应,不仅具有高的仪表因子,而且具有宽的量程.实验发现,由于密排纳米团簇阵列的电子输运具有渗流特征,造成应变传感器的响应特性与纳米团簇的覆盖率紧密相关.通过控制纳米团簇的沉积过程,制备了由覆盖率接近有效渗流阈值的纳米团簇点阵构成的应变传感器.从最低应变探测限到0.3%应变之间,传感器件具有线性响应且仪表因子高达55.在更高的应变时,仪表因子进一步达到200.纳米团簇薄膜甚至还可以对达到8%应变的巨大形变产生响应,对应的应变因子达到惊人的3500.
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