溶剂对FTO薄膜的结构和光电性能的影响

作者：付晨; 王立坤; 邱茹蒙; 王贵; 蔡文豪; 杨静凯; 赵洪力^*

来源：材料研究学报, 2019, 33(04): 277-283.

• 无机非金属材料
• FTO薄膜
• 喷雾热解
• 溶剂
• 光学性能
• 电学性能

采用喷雾热解法(SPD),分别使用甲醇、乙醇、异丙醇、正丁醇和去离子水作为溶剂制备F掺杂的SnO2(FTO)透明导电薄膜,使用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、四点探针电阻仪、霍尔效应仪和紫外可见分光光度计等手段对薄膜进行测试和表征,研究了溶剂对FTO薄膜结构、形貌和光电性能的影响,研究了溶剂对FTO薄膜结构与光电性能的影响。结果表明:FTO薄膜具有四方相金红石结构;使用不同溶剂制备的薄膜,其表面形貌和颗粒尺寸明显不同;使用甲醇为溶剂制备的FTO薄膜呈现饱满的金字塔状,晶粒尺寸均匀,结构致密,具有最佳的综合光学和电学性能,其电阻率可达4.43×10-4Ω·cm,载流子浓度为9.922×1020cm-3,品质因数为1.646×10-2Ω-1,可见光区透射比均大于75%。

• 单位
  燕山大学; 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室