现场真空校准装置性能研究

作者：习振华; 李得天; 成永军; 张虎忠; 王永军; 刘珈彤; 管保国; 吉康

来源：真空科学与技术学报, 2016, 36(12): 1400-1406.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2016.12.10

• 现场校准
• 压力衰减法
• 直接比较
• 计量特性

研制了一台校准范围为10-5105Pa的现场真空校准装置。将不同种类单一成分的校准气体引入装置上游室,通过几何尺寸为微米量级激光小孔的衰减,建立校准用标准压力pstd。上游室压力变化范围为1103Pa,相应地,校准室内对应的标准压力范围10-510-2Pa(N2),测量不确定度为2.4%。另外,该装置可采用与标准真空计直接比较进行动态或静态校准,其极限真空度为10-6Pa量级。对装置暴露大气后的抽气性能、静态压升及其主要计量特性进行了实验研究。实验结果表明,该装置外形尺寸以及质量分别为475 mm×420 mm×800 mm、37.8 kg,校准范围为1.9×10-51.0×105Pa,相对合成标准不确定度为2.8%0.40%。

• 单位
  兰州空间技术物理研究所