关于304不锈钢的绿色化学机械抛光研究

作者：刘斌

来源：设备管理与维修, 2023, (22): 176-177.

DOI：10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2023.11D.78

• 304不锈钢
• CMP
• 化学机械抛光
• 绿色环保
• 正交试验

在化学机械抛光工艺的基础上进行改进，采用包括氧化铝、L-苹果酸、双氧水、乳化剂、新型绿色抛光液的磨料配方，进行化学机械抛光正交试验，分析各影响因素在表面粗糙度与材料去除率中的权重，进而开发了一种新型绿色环保抛光液（pH=3,0.3%双氧水、0.3%乳化剂OP-10、1.5%甘氨酸）。L-苹果酸进一步增加了抛光效率，双氧水提高了抛光液的氧化性，所以新型抛光工艺具有较高的抛光效率和抛光质量，并且可以降低不锈钢表面的腐蚀速率。