<正>针对气体组分浓度分析装置及相关产品对不同气体浓度的大量需求,本文设计开发智能气体配气仪及多态配气平台(以下简称平台),该平台采用上下位机组成方式,上位机完成多态组分浓度及相关配置,下位机输出相应组分浓度,由于使用质量流量控制器作为配气部件,所以不受压力及温度影响,输出浓度稳定,精度高。1.概述在气体分析仪器领域,标准气体是标定和校准气体分析仪器测量结果的重要手段,由于传感器非线性及受温度影响等因素,在对
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