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摘要
本发明公开了一种基于γ-石墨二炔的可调频纳机电谐振器,其包括：两个温控电极(1)、复合薄膜(2)、源极电极(3)、SiO2衬底(4)、栅极电极(5)、Si基底(6)、高介电陶瓷基底(7)和漏极电极(8)。两个温控电极对称分布于复合薄膜上表面两侧,复合薄膜由形状记忆聚合物温控层、聚二甲基硅氧烷介质层与γ-石墨二炔导电层组成,复合薄膜位于源极和漏极和SiO2衬底上表面,源、漏极分别位于SiO2衬底内侧,栅极位于高介电陶瓷上表面正中位置。通过温控电极激发温控层内部大分子链活性,改变其弹性模量；控制复合薄膜抗弯刚度变化,实现谐振器大范围调频功能。本发明谐振损耗低、可靠性高,可用于射频微波通信设备。
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